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--- 超臨界co2乾燥 [2021/09/14 00:12] – 作成 mnm03
+++ 超臨界co2乾燥 [2022/12/15 11:05] (現在) – [Supercritical CO$_2$ drying] mnm03
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 ===== 超臨界CO$_2$乾燥 =====
-==== Supercritical CO$_2$ drying ====
-{{tag>..c21}}
-超臨界二酸化炭素乾燥法は、微細構造のウェットエッチングや洗浄・リンス後の乾燥で、表面張力による構造破壊を避けるために、超臨界流体から液相を介さずに気相にすることで、表面張力が作用しないように乾燥させる乾燥手法。エアロゲル等多孔質の形成や洗浄乾燥にも利用される。
-~~NOCACHE~~

超臨界co2乾燥.txt · 最終更新: 2022/12/15 11:05 by mnm03