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ピラニア洗浄

Piranha cleaning

シリコンウエハなどの表面に付着した有機物を除去する洗浄方法の一つ.ピラニア洗浄では,濃硫酸と過酸化水素水を混合したピラニア溶液を用いる.このピラニア溶液は非常に強力な酸化剤として働くため,ほとんどの有機物を除去することができる.