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マイクロローディング効果

Micro loading effect

ドライエッチングにより小さな穴や溝を形成する場合、開口幅がエッチング深さに対して小さいとき、エッチング速度が遅くなる。この現象をマイクロローディング効果という。開口面積が大きく供給律速によりエッチング速度が遅くなる「ローディング効果(loading effect)」とは区別して使用される。