このページの2つのバージョン間の差分を表示します。
| 両方とも前のリビジョン前のリビジョン | |||
| マイクロローディング効果 [2021/09/14 00:29] – [micro loading effect] mnm03 | マイクロローディング効果 [2022/12/15 11:08] (現在) – [Micro loading effect] mnm03 | ||
|---|---|---|---|
| 行 1: | 行 1: | ||
| ===== マイクロローディング効果 ===== | ===== マイクロローディング効果 ===== | ||
| - | ==== Micro loading effect ==== | ||
| - | {{tag> | ||
| - | |||
| - | ドライエッチングにより小さな穴や溝を形成する場合、開口幅がエッチング深さに対して小さいとき、エッチング速度が遅くなる。この現象をマイクロローディング効果という。開口面積が大きく供給律速によりエッチング速度が遅くなる「ローディング効果(loading effect)」とは区別して使用される。 | ||
| - | |||
| - | |||
| - | ~~NOCACHE~~ | ||
