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| マイクロローディング効果 [2021/09/13 23:52] – mnm03 | マイクロローディング効果 [2022/12/15 11:08] (現在) – [Micro loading effect] mnm03 | ||
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| - | ==== micro loading effect | + | ===== マイクロローディング効果 ===== |
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| - | ドライエッチングにより小さな穴や溝を形成する場合、開口幅がエッチング深さに対して小さいとき、エッチング速度が遅くなる。この現象をマイクロローディング効果という。開口面積が大きく供給律速によりエッチング速度が遅くなる「ローディング効果(loading effect)」とは区別して使用される。 | ||
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