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リフトオフ

Lift-off

フォトリソグラフィーにおいて,レジストと共に不要な薄膜を除去する工程.あらかじめパターニングしたレジスト上に薄膜を形成し,その後レジストと共にレジスト上の薄膜を除去する.これにより,レジストの無かった部分にのみ薄膜を残し,目的のパターンを得ることができる.