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リフトオフ [2021/09/18 16:40] (現在)
mnm04 作成
ライン 1: ライン 1:
 +===== リフトオフ =====
 +==== Lift-off ====
 +
 +{{tag>..c21}}
 +
 +フォトリソグラフィーにおいて,レジストと共に不要な薄膜を除去する工程.あらかじめパターニングしたレジスト上に薄膜を形成し,その後レジストと共にレジスト上の薄膜を除去する.これにより,レジストの無かった部分にのみ薄膜を残し,目的のパターンを得ることができる.
 +
 +~~NOCACHE~~