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--- リフトオフ [2021/09/18 16:40] – 作成 mnm04
+++ リフトオフ [2022/12/15 11:07] (現在) – [Lift-off] mnm03
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 ===== リフトオフ =====
-==== Lift-off ====
-{{tag>..c21}}
-フォトリソグラフィーにおいて，レジストと共に不要な薄膜を除去する工程．あらかじめパターニングしたレジスト上に薄膜を形成し，その後レジストと共にレジスト上の薄膜を除去する．これにより，レジストの無かった部分にのみ薄膜を残し，目的のパターンを得ることができる．
-~~NOCACHE~~

リフトオフ.txt · 最終更新: 2022/12/15 11:07 by mnm03