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フォトリソグラフィーにおいて，レジストと共に不要な薄膜を除去する工程．あらかじめパターニングしたレジスト上に薄膜を形成し，その後レジストと共にレジスト上の薄膜を除去する．これにより，レジストの無かった部分にのみ薄膜を残し，目的のパターンを得ることができる．
