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犠牲層エッチング [2021/09/14 00:06] – 作成 mnm03犠牲層エッチング [2022/12/15 11:06] (現在) – [Sacrificial etching] mnm03
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 ===== 犠牲層エッチング ===== ===== 犠牲層エッチング =====
-==== Sacrificial etching ==== 
- 
-{{tag>..c21}} 
- 
-異なる材料からなる中間層を選択的にサイドエッチングし、最上部の構造体をリリースするマイクロ加工プロセス。フッ酸耐性のある構造体であれば、酸化シリコンを犠牲層として用い、HF水溶液やHF蒸気によるエッチングを行うことが多い。 
- 
-~~NOCACHE~~ 
  
犠牲層エッチング.txt · 最終更新: 2022/12/15 11:06 by mnm03