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フェムト秒からピコ秒オーダのパルス幅で発光する超短パルスレーザは，発光中極めて高いエネルギ密度となるため，照射部は瞬間的に高圧となって飛散し，周囲への熱伝導が起きる前に加工が完了する非熱的加工となる．また，極めて高いエネルギ密度では通常は光を透過する物質が複数の光子を吸収する同時多光子吸収過程が起き，紫外光のような短波長ではないレーザ光でも分子の結合乖離エネルギを超えたエネルギを与えて結合を切り離すアブレーション加工が実現できる．超短パルスレーザ照射は照射部周囲への熱影響が少ないため微細加工に適している．
