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超臨界co2乾燥 [2021/09/14 00:12] (現在)
mnm03 作成
ライン 1: ライン 1:
 +===== 超臨界CO$_2$乾燥 =====
 +==== Supercritical CO$_2$ drying ====
 +
 +{{tag>..c21}}
 +
 +超臨界二酸化炭素乾燥法は、微細構造のウェットエッチングや洗浄・リンス後の乾燥で、表面張力による構造破壊を避けるために、超臨界流体から液相を介さずに気相にすることで、表面張力が作用しないように乾燥させる乾燥手法。エアロゲル等多孔質の形成や洗浄乾燥にも利用される。
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 +~~NOCACHE~~