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— | 超臨界co2乾燥 [2021/09/14 00:12] – 作成 mnm03 | ||
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+ | ===== 超臨界CO$_2$乾燥 ===== | ||
+ | ==== Supercritical CO$_2$ drying ==== | ||
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+ | 超臨界二酸化炭素乾燥法は、微細構造のウェットエッチングや洗浄・リンス後の乾燥で、表面張力による構造破壊を避けるために、超臨界流体から液相を介さずに気相にすることで、表面張力が作用しないように乾燥させる乾燥手法。エアロゲル等多孔質の形成や洗浄乾燥にも利用される。 | ||
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