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化学センサ

chemical sensor

 気体や液体中に含まれる成分の濃度を測定するために用いるセンサの総称.化学的な量を電気信号に変換して連続監視に用いる.おもに医療応用のほか,環境計測にも用いられる.気体成分測定には,電気化学反応,固体電解質を用いたセンサがある.液体成分測定には,イオン反応,酵素反応を利用している.電位を電界効果トランジスタの原理で測定するイオン選択性電界効果トランジスタ(ISFET)はセンサを小型化できる.そのほか,光ファイバを利用したオプティカル方式や表面音響波を利用したSAW方式が利用されている.