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サブミクロン粒子

submicron particle

 1μm以下の微小な粒子をいう.高性能集じん装置であるバグフィルタや電気集じん装置でも部分集じん率が減少するのがサブミクロン領域であり,人体影響の面からも肺胞の深部に沈着しやすいので問題となる.他方,LSI製造や薬品・バイオ産業などで必要とされる清浄空間を得るためのクリーンルームでは,サブミクロン粒子が管理対象となる.