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水中および空気中での殺菌や有害有機化合物の分解を目的とした紫外線の照射をいう．一般的な低圧水銀ランプでは253.7nmが主波長となる．近年大出力の低圧ランプや中圧ランプが開発されている．有害物質の分解に光触媒やオゾンなどの併用が検討されている．
