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拡散ポンプ

diffusion pump

 油蒸気などの噴流を利用して排気作用を行う真空ポンプの一つ.ボイラで発生させた油蒸気を多数のノズルから下向きに噴出させ,吸気口より入った気体をその噴流に同伴させて排気口に導く.到達真空度は0.1~0.0001(Pa)となり,真空蒸留などに利用される.