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半導体ひずみゲージ

semiconductor strain ga(u)ge

 半導体の単結晶の比抵抗が応力により変化するピエゾ抵抗効果を利用したひずみゲージをいう.ゲージ率が金属材料で作られたゲージの数十倍あり,微小ひずみの検出や動的な衝撃測定に優れている.【ひずみゲージ