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顕微鏡組織や結晶粒など，微小部分の硬さ．顕微鏡を備えた微小硬さ試験機によって測定される．測定荷重は最小0.05N（5gf）程度，圧こんの大きさは最小数μmである．マイクロビッカース硬さが一般的で，表面硬化層や分布組織に適用される．
