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真空焼結

vacuum sintering

 排気装置を用い約10-3Torrの真空度を保持した炉で焼結することをいう.真空焼結は各種保護雰囲気ガス中で水素化物,窒化物などを生成しやすい金属を含む場合に利用するが,一方,真空中では化合物,金属の解離,蒸発が生じるので注意を要する.