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透過電子顕微鏡

transmission electron microscope

 試料に高速の電子線を照射し,透過した電子線を電子レンズを用いて拡大結像して観察するもので,最も広く使われている型の電子顕微鏡である.最高倍率は約150万倍で,原子レベルで材料内部の構造や組成を観察できる.装置は電子銃と,コンデンサレンズ,試料室,対物レンズと結像系などで構成される.電子銃は陽極と陰極の間に,通常100~200kVの直流電圧をかけたもので電子を加速する.照射された電子線は,二段のコンデンサレンズで平行にそろえられ,試料と対物レンズを透過する.結像系は三段以上の電子レンズが組合されたもので拡大像を蛍光板に投影したり写真撮影する.電子線は,大気中では散乱するため高真空度が必要である.試料は数~数十nmの厚さにする必要があり,機械的研磨ののち加速したイオンで照射して作製した薄膜や材料表面に金属を蒸着しはく離したりプラスチックに転写,蒸着した薄膜を用いる.