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回転式真空ポンプ

rotary type vacuum pump

 容積形とターボ形に大別される.容積形では二葉形のロータを互いに逆回転させる二葉式や複数の可動ベーンを偏心ロータに取付け圧縮排気を行うベーン式,水の遠心力を用いる水封式,雄,雌一対のねじ形ロータによるねじ式,渦巻形の揺動部と固定部からなるスクロール式などがある.比較的高真空の用途には回転翼形,カム形,揺動ピストン形の油回転真空ポンプが用いられる.ターボ形では遠心式と軸流式があり,分子流域の高真空用途には軸流分子ポンプが用いられる.