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キャビテーション発生状態で長時間運転するとその部位の材料が損傷することをいう．損傷には種々の要因が介在するが，液体中の気泡が消滅する際の衝撃圧で材料が疲労損傷するものはキャビテーション壊食またはキャビテーション侵食と言う．
