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軸流分子ポンプ

axial flow moleculer pump

 半導体分野などに必要とされる極低真空を作り出す真空ポンプの一種である.極低真空状態では,気体は連続流の状態ではなく分子流の性格を示すため,ポンプは軸流の多翼で多段の羽根車を高速回転させて,気体分子を叩きだすことで気体を排出し,広い範囲で低真空状態を作ることができる.

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