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真空計

vacuum ga(u)ge, vacuum indicator

 マノメータの圧力測定範囲を拡張したマクラウド真空計は,大気圧から10-3Paまで使用でき,他の真空計の校正にも用いられる.ピラニ真空計は気体の熱伝導によるフィラメントの抵抗変化を検出するものであり,10-2~103Paの範囲で用いられる.スピニングロータ真空計は10-5~1Paの測定範囲を持つ.この真空計では,気体の粘性によるロータの回転速度の減衰から圧力を求める.熱電子によって気体を電離し,イオン電流を測定して圧力を求めるB-Aゲージは,10-8~10-1Paで用いられ,最も標準的な真空計である.