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化学蒸着

chemical deposition

 気体あるいは液体分子(原子)が凝縮相を形成するとき,その過程で電子状態の結合(化学反応)を伴うものを化学蒸着あるいは化学凝縮という.この化学反応には気体(液体)分子間,気体-凝縮体分子間,凝縮体分子間(表面反応)の反応あるいはこれらの組合せがある.