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位置検出器

position sensor

 変位・ひずみ,角変位を測定するものを位置検出器という.検出器には,静電容量が電極間の変位で測定できる電気容量センサ,磁界分布の変化を検出する差動変圧器,圧電素子にひずみを加えて電圧変化を測定する方法,抵抗体に流された電位差を測定するポテンショメータ,電気伝導度のある物質にひずみを加えると電気的物性の変化するひずみゲージ,コイルに電気容量を加え共振回路を形成させている渦電流センサ,その他空気マイクロメータ,赤外光センサ,超音波センサ,波動や電波を用いたセンサ,レーザによる光干渉計などがある.