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サーボ弁

servo valve, servovalve

 電気信号などの入力の関数として,作動油の流量または圧力を制御する弁を電気-油圧サーボ弁,または単にサーボ弁という.一般的なサーボ弁は,電気的入力信号を機械量に変換する電気-機械変換部,機械量を油圧に変換する初段増幅部,増幅された油圧で駆動される主案内弁部で構成され,高速応答である.増幅部と案内弁の数に応じて一段(直動)形,二段形と称される.電気-空気圧サーボ弁は作動油を空気に置換えたものであるが,空げき部の大きさや主案内弁の減衰特性が空気圧用に適した設計になっている.