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クリーンルームロボット

clean room robot

 半導体製造工程や電子部品の組立などの工程が微細化,超精密化されるに従って周囲のダストパーティクルの影響が問題となる.ダストパーティクルを少なくした環境をクリーンルームといい,ここで使われるロボットがクリーンルームロボットである.基本的には,潤滑油を必要とする部品を従来のロボットより少なくし,また全体の部品点数を減らしている.現在ではACサーボモータやダイレクトドライブモータを駆動源に用いている.