内容へ移動
ユーザ用ツール
管理
ユーザー登録
ログイン
サイト用ツール
検索
ツール
文書の表示
以前のリビジョン
バックリンク
最近の変更
メディアマネージャー
サイトマップ
ユーザー登録
ログイン
>
最近の変更
メディアマネージャー
サイトマップ
現在位置:
機械工学事典
»
ロボティクス・メカトロニクス
»
クリーンルームロボット
この文書は読取専用です。文書のソースを閲覧することは可能ですが、変更はできません。もし変更したい場合は管理者に連絡してください。
====== クリーンルームロボット ====== ==== clean room robot ==== {{tag>..c14}} 半導体製造工程や電子部品の組立などの工程が微細化,超精密化されるに従って周囲のダストパーティクルの影響が問題となる.ダストパーティクルを少なくした環境をクリーンルームといい,ここで使われるロボットがクリーンルームロボットである.基本的には,潤滑油を必要とする部品を従来のロボットより少なくし,また全体の部品点数を減らしている.現在ではACサーボモータやダイレクトドライブモータを駆動源に用いている. ~~NOCACHE~~
14/1003379.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:49 by
127.0.0.1
ページ用ツール
文書の表示
以前のリビジョン
バックリンク
文書の先頭へ