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LIGAプロセス

LIGA process

 LIGAはドイツ語のLIthographie, Gavanoformung und Abformung (lithography, gavanotorming and molding)に由来する.X線リソグラフィーの場合より短波長のX線を用いてPMMA(ポリメチルメタアクリレート樹脂)のレジストなどを数100μm程度の深部まで露光し,それに電気めっき,プラスチックモールディングを施すことによってミクロンオーダの微小部品〔ウラン濃縮用分離ノズル(図),歯車,加速度センサ,マイクロ分光器など〕を大量生産する技術をいう.

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