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共焦点レーザ顕微鏡

confocal laser microscope

 レーザを光源とし,試料面上でレーザスポットをラスタ走査して,試料像を得るレーザ顕微鏡の一種.点光源と点検出器を用いることに特徴がある.例えば,光源の後段と検出器の前段にピンホールを設け,光路を制限する.通常の光学顕微鏡のそれより鉛直方向,面内方向の解像度を向上させることができる.特に焦点深度が極めて浅いことを利用して,サブミクロンオーダの表面形状測定あるいは試料内部の断面観測に用いられる.