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じんあいカウンタ

dust counter

 気体中の浮遊微粒子あるいはウェーハ表面に付着した微粒子を検出し,クリーンルームやLSI製造装置の環境管理,工程中のウェーハの清浄度検査に用いる.気体中の浮遊微粒子を含む試料空気を一定流量で吸引し細い流れにして,レーザ光などの強い光を流れに交差させて照射し,微粒子からの散乱光を光電子変換素子によってパルス電気信号に変換して計数処理を行う.ウェーハ上のダストの場合にはレーザ光でウェーハ表面を走査し,付着した微粒子からの散乱光を同様にして計数処理を行う.