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走査型サーマルプロファイラ

scanning thermal profiler (STP)

 走査型プローブ顕微鏡の一種.先端に熱電対を有する探針を用い,探針を暖めることで試料との間に温度差を設け,試料と探針とのすきま変化に起因する熱伝導変化を,微小な温度変化に替えて高感度に検出することにより,試料のトポグラフィを画像化する顕微鏡.