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トワイマン・グリーン干渉計

Twyman-Green interferometer

 マイケルソン干渉計の1バリエーションである.点光源からの光をコリメーティングレンズによって平行光束にした後,ビームスプリッタにより二つの光束に分け,一方を参照面に,もう一方を被検面に当てて反射させ再びビームスプリッタで重ね合せ干渉させる干渉計である.光学面の面精度の計測に用いることができるとともに,球面ミラーなどを利用することでレンズの波面収差の計測などにも用いることができる.

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