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半導体製造装置

semiconductor equipment

 半導体素子を製造するための装置.マスク制作に供されるマスクブランク装造装置,パターン形成装置,パターン検査・修正装置,ペリクル張付け・検査装置,ウェーハそのものを製造する単結晶成長装置,単結晶加工・検査装置,ウェーハ処理工程で使用される薄膜形成装置,酸化装置,ドーピング装置,アニール装置,レジスト処理装置,露光装置,エッチング装置,洗浄・乾燥装置,および組立て,検査のための装置の総称.広義には,クリーンルーム,純水装置,ガス供給装置などの工場設備を含めることもある.