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微小部分析

microbeam analysis

 高指向性のSOR光を超精密に加工された光学素子を用いてサブミクロンのビームを作り,これにより微小部の分析,結晶構造解析などを行う技術をいう.光学素子は①高精度回転だ円体ミラー,②ガラスキャピラリ,③多層膜コートSchwarzschild縮小光学系,④フレネルゾーンプレートで,おもに走査型顕微鏡(光電子,蛍光X線の検出)の開発をめざしている.