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表面分析

surface analysis

 SOR光のエネルギーを最適化して,試料から放出される光電子のエネルギー分析を行う光電子分光法,SOR光のエネルギーを数100eV変化させて試料表面から放出される蛍光X線,オージェ電子などの強度変化を測定し,フーリエ変換によって近接原子との原子間距離,配位数を測定するEXAFS(X線吸収微細構造解析)法,X線を試料すれすれに入射させて表面分析を行う全反射蛍光X線分析法などをいう.