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露光装置

aligner

 半導体の回路パターンをウェーハ上に塗布された感光剤(フォトレジスト)に転写する装置の総称.転写のための光源,露光光学系および基板に既存する前工程の回路パターンに対して重ね合せる(アライメント)機能を備えた装置.装置は,光源の種類あるいは回路パターンの投影方法により次のように分類される.

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