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露光装置
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====== 露光装置 ====== ==== aligner ==== {{tag>..c15}} 半導体の回路パターンをウェーハ上に塗布された感光剤(フォトレジスト)に転写する装置の総称.転写のための光源,露光光学系および基板に既存する前工程の回路パターンに対して重ね合せる(アライメント)機能を備えた装置.装置は,光源の種類あるいは回路パターンの投影方法により次のように分類される. {{popup> :1013853_01.jpg?400 }} ~~NOCACHE~~
15/1013853.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:49 by
127.0.0.1
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