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圧電センサ

piezoelectric sensor

 圧力が加わると帯電する圧電物質(例えば,水晶)を利用した,圧力,加速度などの検出器.帯電した電気量を電圧に変換するチャージアンプが必要.センサ自身とチャージアンプまでの電線の電気絶縁性およびチャージアンプの入力インピーダンスが低いと帯電電圧を保持する時間(時定数)が短くなり,また剛性が高く,応答周波数が高いので,高速変動する圧力測定,例えばエンジン指圧計,超音波センサなどに適す.電気絶縁に特別の配慮をすれば30分程度の静的測定も可能.また,共振子の形にしてその固有振動数の変化を利用した,微小な力,圧力,質量などのセンサもある.