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圧力センサ

pressure sensor

 圧力によって物質が変化する性質を利用したもの.圧力によるダイヤフラムの変形をひずみゲージ,静電容量変化,差動トランスで検出するもの,ダイヤフラムにシリコンやゲルマニウムの単結晶板を用いてその一部に拡散によって半導体ひずみゲージを作った拡散抵抗形半導体圧力センサ,圧電センサ,水晶振動子固有振動数が応力によって変化することを利用したもの,圧力によって色が変化する感圧紙などが市販されている.