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インチワームアクチュエータ

inchworm actuator

 圧電素子,磁歪(わい)素子などの微小変位形素子を用いて,尺取虫のようにして大きな移動あるいは回転を得る機構.両端につけたチャック機構の開閉と微小変位素子の伸縮を繰返すことにより,ステップ状の微小変位を積重ねた移動を得る.平面三自由度の位置決めに利用できるものなど種々の形態がある.