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スパッタ

sputter

 ①イオンなど加速された粒子が固体表面に衝突するとき,表面の物質が原子状にはじき飛ばされる現象.スパッタリングはこの現象を利用する成膜法であり,はじき飛ばされた材料の薄膜を基板に形成する.また,スパッタを除去加工に適用したスパッタエッチングはマスクを用いればパターン形成が可能で微細加工などに適用される.②アーク溶接において,溶接あるいは溶接池から飛散する小粒の溶滴.溶接作業性を低下させ,溶接部外観を悪くする.