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容量形圧力センサ

capacitive pressure transducer

 ダイアフラムなどの受圧部の変形を受圧部材上に設けた可動電極と固定電極間の静電容量変化から検出する圧力センサ.圧力により受圧部が変形すると電極間距離が変わる.これを静電容量変化から検出し,圧力を求める.