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アンダカット

undercut

 ①エッチングが深さ方向に進行するばかりでなく,レジストによってマスクされた部分を横方向にも進行する現象.サイドエッチともいう.一般に液体エッチャントによるエッチングでは溶解は等方的に進行しアンダカットが生じる.またプラズマエッチングや反応性イオンエッチングなどの気相エッチングにおいても化学的な作用が関与するがぎりアンダカットが生じる.アンダカットの程度は,エッチングの深さをD,アンダカット量をRとしたときD/Rで定義されるエッチファクタによって評価される.②切削力により工具が工作物から離れる方向に,工作機械-工作-工作物系の弾性変形が生じ,設定より小さな切込みで切削が行われること.③歯車の歯元を余分に削り取ること.歯数が少ない場合,歯の干渉により生ずる.歯車シェービング仕上げではカッタと歯車の干渉をさけるため,前加工においてアンダカット部を設ける.