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イオンスパッタリング

ion sputtering

 イオンが固体物質に衝突すると,表面付近の原子と弾性衝突して反射(後方散乱)する場合もあるが,大部分は固体中の原子と衝突しながらエネルギーを失う.このとき,固体を構成する原子は,格子位置から,さらには,固体外まではじき飛ばされる.この固体外まで構成原子をはじき飛ばす現象(スパッタリング)をいう.また,これを用いる加工をスパッタエッチングとも称する.