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イオンスパッタリング
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====== イオンスパッタリング ====== ==== ion sputtering ==== {{tag>..c18}} イオンが固体物質に衝突すると,表面付近の原子と弾性衝突して反射(後方散乱)する場合もあるが,大部分は固体中の原子と衝突しながらエネルギーを失う.このとき,固体を構成する原子は,格子位置から,さらには,固体外まではじき飛ばされる.この固体外まで構成原子をはじき飛ばす現象([[18:1006512|スパッタリング]])をいう.また,これを用いる加工を[[18:1006509|スパッタエッチング]]とも称する. ~~NOCACHE~~
18/1000447.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:50 by
127.0.0.1
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