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イオンビーム加工機

ion beam processing machine

 イオン源イオン銃)で発生したイオンをビーム状に一方向に高真空中に引出し,電界によって加速し(イオン加速電圧),材料表面に照射して加工する装置.イオン源としては,気中放電によるプラズマからイオンを取出すものや,表面効果を利用してイオンを取出す(金属表面に高い電界強度数十V/nmを発生させて,金属原子をイオン化する)ものがある.加工物に対しては,設置方向を可変にし,イオンの加工物への入射角(イオン入射角)を制御できるようにして,加工量を制御する必要がある.