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イオンビーム加工機
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====== イオンビーム加工機 ====== ==== ion beam processing machine ==== {{tag>..c18}} [[18:1000442|イオン源]]([[18:1000446|イオン銃]])で発生したイオンをビーム状に一方向に高真空中に引出し,電界によって加速し([[18:1000439|イオン加速電圧]]),材料表面に照射して加工する装置.イオン源としては,気中放電によるプラズマからイオンを取出すものや,表面効果を利用してイオンを取出す(金属表面に高い電界強度数十V/nmを発生させて,金属原子をイオン化する)ものがある.加工物に対しては,設置方向を可変にし,イオンの加工物への入射角([[18:1000451|イオン入射角]])を制御できるようにして,加工量を制御する必要がある. ~~NOCACHE~~
18/1000453.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:50 by
127.0.0.1
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