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X線マスク
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====== X線マスク ====== ==== X-ray mask ==== {{tag>..c18}} X線露光用のマスク.X線を良く透過する厚さ1~3μmの基板(SiN,SiC,ダイヤモンド,ポリイミドなど)を支持体に張付け,X線を通さないマスク材料(Au,Ta,Wなど,厚さ0.5~1μm)で回路パターンを描いたもの. ~~NOCACHE~~
18/1001104.txt
· 最終更新: 2017/07/19 08:50 by
127.0.0.1
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